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碳化矽機械手臂

碳化矽機械手臂

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詳細說明
應用領域

1. 半導體產業
2. 光電產業
3. 太陽能產業
4. 晶圓傳送設備
5. 自動化設備
 
 
 
產品需求特性

1. 表面阻抗在106~108Ω,符合抗ESD規範
2. 表面容易清潔,無particle產生之問題
3. 高硬度,耐磨耗
4. 高剛性,抗震佳,長期使用不易彎曲變形
5. 質輕,振動幅度小
 
 
 
凱樂士產品優異之處

1. 無須coating,使用壽命長,可降低後續維護費用
2. 可提供客製化服務
3. 種類形式齊全,適用於各設備
4. 品質穩定,交期迅速
5. 晶圓傳送穩定性佳,改善傳統氧化鋁手臂的缺點