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SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

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詳細說明

SiC chuck(碳化矽真空吸盤)應用領域


在半導體、光電產業裡,常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上,接上真空產生器,利用真空吸力使晶圓固定,方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程

 

 

SiC chuck(碳化矽真空吸盤)產品需求特性


1.熱傳導性佳,以縮短上蠟與除蠟製程時間,提高生產速率、增加生產效益

2.孔徑細小且分佈均勻,對整片晶圓各微小局部區域可均勻吸附

3.耐酸鹼腐蝕

 

 

凱樂士優異之處


1.各種尺寸規格,皆可客製化製作
2. 擁有良好的平面度及平行度,表面平順光滑,不會刮傷晶圓
3. 品質穩定,交期迅速