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碳化矽透氣吸盤

碳化矽透氣吸盤

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詳細說明
應用領域

在半導體、光電產業裡,常將極薄晶圓放置在碳化矽透氣吸盤上,接上真空產生器,利用真空吸力使晶圓固定,方便對晶圓進行上蠟、減薄、除蠟、清洗及切割等製程。

 

 

產品需求特性

1. 熱傳導性佳,以縮短上蠟與除蠟製程時間,提高生產速率、增加生產效益
2. 孔徑細小且分佈均勻,對整片晶圓各微小局部區域可均勻吸附
3. 耐酸鹼腐蝕
 
 
凱樂士優異之處

1. 各種尺寸規格,皆可客製化製作
2. 擁有良好的平面度及平行度,表面平順光滑,不會刮傷晶圓
3. 品質穩定,交期迅速