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碳化矽擋片

碳化矽擋片

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詳細說明

應用領域


在長氧化矽薄膜或擴散製程中,碳化矽擋片常被置放於矽晶圓前端以保護後面的矽晶圓
 
 
產品需求特性

1.耐高溫氣體侵蝕
2.化學安定性佳
3.表面容易清潔,不會有particle產生之問題
4.長期使用不易彎曲變形
 
 
凱樂士產品優異之處

1.提供客製化服務
2.使用壽命長,大幅減少矽晶圓汰換次數
3.種類形式齊全,適用於各設備