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碳化矽ICP承載盤

碳化矽ICP承載盤

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詳細說明

應用領域 


LED產業ICP蝕刻製程用之承載盤

 

 

產品需求特性


1.優異的熱傳導性

2. 耐電漿轟擊

3.均溫性佳

 

 

凱樂士產品優異之處


1.備有各種型式規格,且可客製化製作

2.品質穩定,交期迅速

3.另有重工修整服務