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SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

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詳細說明

應用領域


 高緻密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑爲2~3微米,不易阻

 塞真空力大,部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、面板、雷射製程及非接

 觸線性滑軌非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤密封的空氣來維持傳輸,裝置應用僅限用於

 平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器操作員。在金屬加工領域,這是一項安全可靠

 的工件傳輸。

 自動化移載、物件吸取、定位、精密網板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(碳化矽)接上真

 空吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盤上,利用

 真空吸力使工作物固定,進行清洗、切割、研磨、網版印刷及其他加工製程等。

 

產品特性


     1.熱傳導性佳、縮短製程時間,提高生產效益。

    2.強度高、結構緻密表面平順光華,不易刮傷物件(晶圓,玻璃等)。

    3.平面度、平行度好、吸附力強且均勻,物件(晶圓,玻璃等)不平,破裂亦可吸附。

    4.通透性佳。