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SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

SiC chuck(碳化矽真空吸盤)

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詳細說明

應用領域


    高緻密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),特殊的多孔陶瓷材料其孔徑爲2~3微

    米,不易阻真空力大,部份面積吸附, 同時也可作氣浮平臺,廣泛應用半導體、

    面板、雷射製程及非接觸線性滑軌非接觸線性滑軌。多孔陶瓷真空吸盤密封的空

    氣來維持傳輸,裝置應用僅限用於平坦,無孔表面的工作平臺。使用者通常是機器

    操作員。在金屬加工領域,這是一項安全可靠的工件傳輸。

    自動化移載、物件吸取、定位、精密網板印刷用工作臺,利用孔洞透氣性陶瓷(碳化

    矽)接上真吸力,將工作物(包括晶圓、玻璃、PET 膜或其他薄型工作物)放置陶

    瓷工作吸盤上,利用真空吸力使工作物固定,進行清洗、切割、研磨、網版印刷及

    其他加工製程等。

 

 

產品特性


    1.熱傳導性佳、縮短製程時間,提高生產效益。

    2.良好的平面度及平行度,且表面平順光滑,不會刮傷晶圓。

    3.孔徑細小又均勻分佈,透氣性佳,吸附力強且均勻。