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晶舟(Boat)

晶舟(Boat)

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詳細說明

應用領域  


              太陽能、半導體、二極體、擴散製程

 

產品特性


                耐高溫、耐腐蝕、使用壽命長、

                可提高晶圓品質和產量

                石英材料具極低的熱膨脹係數、高耐溫性、

                高耐磨耗性、絕緣性佳,良好的化學穩定

                性、近紫(紅)外線可見光穿透性

 

種類型式 


                SiC Wafer Boat適合各種尺寸wafer

                3吋~12吋,種類形式備齊,適用硼磷

                製程與各廠設備,使用可客製化。