凱樂士網拓會

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炭化珪素プラテン
詳細な説明
応用分野

SiCプレートは、LED産業のICPエッチングプロセスの
ウェーハホルダーとして使用されます。
 
 
 
製品の需要特性

1. 優れた熱伝導率
2. プラズマ衝撃に耐性
3. 温度均一性が良い
 
 
 
 Kallexが他より優れている理由 

1. さまざまな仕様で利用可能で、カスタマイズされたサービスも提供
2. 安定した品質と短納期
3. 改修サービス