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碳化硅PVD承载盘
碳化硅PVD承载盘
详细说明
应用领域
LED产业PVD成长铝氮膜制程用之承载盘(SiC载盘)。
产品需求特性
1.导热性佳
2.均温性佳
3.耐热冲击性佳
凯乐士产品优异之处
1.各种型式规格，皆可客制化制作
2.质量稳定，交期迅速
3.高致密性，不会有out-gassing之问题