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碳化硅挡片
碳化硅挡片
详细说明
碳化硅挡片应用领域
在长氧化硅薄膜或扩散制程中，碳化硅挡片常被置放于硅晶圆前端以保护后面的硅晶圆
碳化硅挡片产品需求特性
1.耐高温气体侵蚀
2.化学安定性佳
3.表面容易清洁，不会有particle产生之问题
4.长期使用不易弯曲变形
凯乐士产品优异之处
1.提供客制化服务
2.使用寿命长，大幅减少硅晶圆汰换次数
3.种类形式齐全，适用于各设备