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碳化矽研磨載盤

碳化矽研磨載盤

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詳細說明

應用領域


1.半導體矽晶圓之研磨製程
2.LED藍寶石晶圓之研磨製程
3.LED晶圓減薄製程

 

 

產品需求特性


1.導熱性
2.耐熱衝擊能力
3.耐磨耗

 

 

凱樂士產品優異之處


1.各種型式規格,皆可客製化製作
2.品質穩定,交期迅速 
3. 研磨載盤直徑從120mm至480mm備有庫存 
4. 可縮短上下料作業時間
5. 可承受更高的減薄速率