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PSS承載盤

PSS承載盤

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詳細說明

應用領域

                        LED PSS蝕刻製程用之承載盤

 

產品特性


                  熱傳導性佳、均溫性佳、沒有particle問題、使用壽命長

               耐侵蝕、電漿轟擊及熱衝擊

 

規格型式


                       1.For Panasonic及Plus  tek等設備, 2/4/6吋。

               2.可客製化設計製作