> 产品介绍
微结构设计化碳化硅材料-Super K

微结构设计化碳化硅材料-Super K

我要询价

详细说明

微结构设计化碳化硅材料-Super K 应用领域


光电及化合物半导体之快速升温热处理制程(RTP)中承载wafer的最佳载具材料。微结构设计化碳化硅材料《Super K 》具有以60˚C/sec的速率成功升温至1250 ˚C的验证实绩。良好的导热性

 

 

 

微结构设计化碳化硅材料-Super K 产品需求特性


1.极佳之耐热冲击能力佳
2.低热膨胀系数
3.良好的导热性
4.均温性佳
 
 
 
凯乐士产品优异之处

1.备有各种型式规格,可客制化生产

2.质量稳定,交期迅速