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碳化硅陶瓷手臂

碳化硅陶瓷手臂

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详细说明
碳化硅陶瓷手臂 应用领域

1. 半导体产业
2. 光电产业
3. 太阳能产业
4. 晶圆传送设备
5. 自动化设备

 

 

碳化硅陶瓷手臂 产品需求特性

1. 表面阻抗在106~108Ω,符合抗ESD规范
2. 表面容易清洁,无particle产生之问题
3. 高硬度,耐磨耗
4. 高刚性,抗震佳,长期使用不易弯曲变形
5. 质轻,振动幅度小

 

 

凯乐士产品优异之处

1. 无须coating,使用寿命长,可降低后续维护费用
2. 可提供客制化服务
3. 种类形式齐全,适用于各设备
4. 质量稳定,交期迅速
5. 晶圆传送稳定性佳,改善传统氧化铝手臂的缺点