凯乐士-透气性吸盘-SiC Carrier
广泛应用在: 半导体、光电产业，将晶圆放置
SiC carrier上，接上真空吸力，利用真空吸力
使晶圆固定，进行上蜡、减薄、除蜡、清洗及
切割等制程。
其优异性如下:
热传导性佳，可缩短制程时间，提高生产效益。
良好的平面度及平行度，且表面平顺光滑，
不会刮伤晶圆。
孔径细小又均匀分布，透气性佳，吸附力强且均匀。
各种尺寸规格，皆可客制化制作哦
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